合肥科晶三温区管式炉OTF-1200X-III-D5-4

名称

1200℃小型三温区开启式管式炉OTF-1200X-III-C

炉体结构

·采用双层壳体结构，并带有风冷系统，使表面温度低于70℃

·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高温氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命） 

·可选购石英管堵及石英坩埚，可增加炉管内洁净度及真空度（图三、四）

·设有开门断电功能,提高实验安全性（图五、六）

·石英炉管：外管直径为 130 mm，内管直径为100mm,使用时把金属箔附在内管壁上用于CVD反应

·双管真空密封法兰，反应气体通过两个管（20mm空隙）流动并进行反应，强制对流空气可以通过中心管进行快速冷却（点击下列图片查看详情）（图七）

图一	图二	图三	图四

图五	图六	图七

基本参数

热偶：K型热偶    建议升温速率：≤10℃/min   

温度：1100℃ （1200℃＜1h）  电源：AC220，50Hz   最大功率:7KW

加热区

加热区长度：900mm (三温区：229mm+457mm+229mm)

加热元件

掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层，可以极大程度延长使用寿命）

法兰

·采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr

·法兰1包含不锈钢针形阀（点击图一查看订购转接头）

·法兰2包含kf5真空接口，方便连接真空泵

·法兰采用水冷法兰。当工作温度超过900°C时，需要使用冷却水（图二）

·可选：您可在我公司选购液相气体发生器，可配合管式炉及CVD系统使用（图三）

图一	图二	图三

炉管尺寸

·高纯石英管尺寸：

·内管尺寸：100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)

·外管尺寸：130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)

·使用时需放置管堵，点击下图查看详情

可选

·可在我公司选购石墨烯生长铜箔（图一）

·可在我公司选购移动炉架放置设备（图二）

·可在我公司选购质子流量计、真空机组等，支撑设备的同时可向设备内通入各种混合气体（图三）

图一	图二	图三

密封法兰

·一对SS304真空法兰与双高温硅O形环包括在内

·两个针阀已分别安装在两个法兰上（图一）

·一个真空压力表安装在一侧法兰（图一）

·可选：您可以选购kf25真空口法兰（图二）

·可选：您可以订购法兰支架（图三）

图一	图二	图三

温控系统

·包含一款YD518P型温度控制器

·PID自动控温系统

·智能化30段可编程控制

·控温精度：±1℃

·三个温区分别有三个独立的温控系统控制

·默认DB9 PC通信连接端口

·通过MET认证

·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据

外形尺寸

2100 L x 450W x 630 H mm

净重

约90Kg

质保期

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 

真空系统

·通过机械泵可达到50mTorr

·通过分子泵泵可达到10E-5 Torr

·可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

质量认证

所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

使用注意事项

·炉管内气压不可高于0.02MPa

·由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

·当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当

·进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·石英管的长时间使用温度＜1100℃

·对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）