1100℃三温区大口径管式炉GSL-1100X-XX-III合肥科晶产品简介:
GSL-1100X-XX-III是CE认证的三温区大口径管式炉,此系列管式炉可选择三种炉管直径:6英寸(152mm)、8.5英寸(216mm)和11英寸(279mm)。设备最高加热温度可达1100℃,控温精度为+/-1℃并可设置30段升降温程序。此款设备配有铰链式法兰,可对材料在真空或气氛保护环境下进行热处理。
1100℃三温区大口径管式炉GSL-1100X-XX-III合肥科晶产品技术参数:
名称 |
1100℃三温区大口径管式炉GSL-1100X-XX-III |
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产品提示 | 1、大体积设备提示 2、多种配件可选提示 | ||
设备型号 |
GSL-1100X-6-III |
GSL-1100X-8.5-III |
GSL-1100X-11-III |
高纯石英管尺寸 |
152 OD x 143 ID x 1300mm L |
216 OD x 206 ID x 1300mm L |
279 OD x 269 ID x 1300mm L |
石英舟(可选) |
最大可兼容4”直径基片
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最大可兼容6”直径基片 |
最大可兼容8”直径基片
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炉体结构
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·采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使表面温度低于70℃
·设备中配有2个氧化铝管堵,设备使用时必须把管堵塞入到炉管两端(保证恒温区和密封圈的密封性)
·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
·该炉可作为退火或扩散炉,最大可用于8”晶片放在对应石英舟中
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基本参数 |
热偶:K型热偶 建议升温速率:≤10℃/min
温度:1000℃ (1100℃<1h) 电源:AC220,50Hz 最大功率:8KW
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加热区 |
加热区长度:900mm (三温区:300mm+300mm+300mm) |
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加热元件 |
掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命) |
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密封法兰 |
·采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr
·可选购一套温度测试装置(铠装热偶、补偿导线和温度仪表),用于测试炉管内部的温度
·左侧水冷法兰:真空压力表、不锈钢针形阀和1/4”宝塔嘴接头
·右侧水冷法兰:kf40真空接口,方便连接到kf40适用的波纹管、泵和kf40挡板阀。(如果您的泵是kf25接口,你需要一个kf40-kf25转接头)
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温控系统
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·包含一款YD518P型温度控制器
·PID自动控温系统
·智能化30段可编程控制
·控温精度:±1℃
·三个温区分别有三个独立的温控系统控制
·默认DB9 PC通信连接端口
·通过MET认证
·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据
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温度校准(可选)
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·定期对管式炉进行温度校准,可保持温度的准确性和均匀性。您可以在我公司选购一个简单的校准工具包,辅助您完成这项工作,完整的校准套件包括
·48”L(1/4”OD)K型热电偶校准
·一Omega温度校准器
·热电偶补偿线
·可以考虑分子泵,真空度可达10-5Torr
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外形尺寸 |
1880 L x 700W x 930 H mm |
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净重 |
约200 kg |
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质保期 |
一年保修,终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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真空系统 |
·多种真空系统可选
·可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染
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质量认证 |
所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。 |
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使用注意事项 |
·炉管内气压不可高于0.02MPa
·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
·石英管的长时间使用温度<1100℃
·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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