合肥科晶1200℃管式炉OTF-1200X-Ⅱ-S2

管式炉

• 双温区管式炉：两个独立的温控系统对每个温区进行独立控温
• 电压：220V AC 50/60Hz
• 功率：3KW
• 加热区长度：440mm
• 恒温区长度：300mm
• 温度曲线图(两个温区设置在800℃时所测，仅供参考）
   
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• 炉管材料：高纯石英管
• 标配炉管尺寸：Φ100（外）×Φ94（内）×640（长）
• 最高工作温度：1200℃（＜1h）
• 连续工作温度：1100℃
• 控温精度：±1℃
• 推荐升温速率：10℃/min

坩埚推送机构（升降双通道进料系统）

坩埚推送控制系统

• 采用PLC触摸屏控制
• 通过一步进电机控制坩埚的移动速度和位置，进样位置和速度可调
• 可控制坩埚最小移动位移为1mm
• 坩埚最大移动距离为200mm 
   
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真空表

机械压力表+数显压力表

真空泵
 

• 真空度：10E-2 torr（采用机械泵），10-E5 torr(采用分子泵)
   
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混气系统
 

• 此套设备中配有一2路混气系统
• 最大输出功率：18W
• 工作温度：5-45℃
• 精度：±1%FS
• 质量流量计量程：1:0-100sccm  2:1-199sccm
• 可根据客户要求选购1-5路供气系统
   
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水冷系统
 

• 标配一16L循环水冷系统
   
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尺寸

• 2600mm(L) x 600mm(W) x 900mm(H)  
   
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质保期

一年质保期，终生维护

质量认证

• CE认证
• 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
   
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使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
• 石英管的长时间使用温度＜1100℃
• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

应用举例

此款管式炉具有多种用途：

• 热蒸发：将蒸发料放入坩埚中，通过移动坩埚来精确找到所需蒸发温度
• HPCVD：通入反应气体实现反应蒸发沉积
• 共蒸发沉积或反应蒸发沉积：利用独特的双通道进料装置可以实现两蒸发源的同时送入，实现共蒸发沉积或反应蒸发沉积
• 多层二维晶体：此套设备可以实现多层二维晶体的制备（硒化物硫化物等），操作方便简单，实验更具精确性、重复性。