合肥科晶1200℃立式/水平式十温区管式炉OTF-1200X-10-VT

炉体结构

l 炉体采用双层壳体结构，并带有风冷系统，保证壳体表面温度小于60℃ 

l 用高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有高温氧化铝涂层（可提高加热效率和延长使用寿命） 

l 加热元件：掺钼铁铬铝合金（表面涂有氧化锆涂层，可延长使用寿命） 

l 开启式的炉体设计，使更换炉管更加方便 

l 可手动变更炉体模式为立式炉，用于样品的吊烧和淬火

电压&功率

l 电压：AC220V，50/60Hz 

l 最大功率：12KW

工作温度

最高工作温度1200℃  连续工作温度1200℃

最大加热速率

10℃/min

石英管&管堵所放位置

炉管尺寸：OD: 100 mm×ID. 95mm×L2000mm 

仪器中配有氧化铝管堵，使用时必须放在石英管两端（点击图片查看详细资料）

密封法兰

l 设备中配有一套快捷开启式密封法兰（炉体两端带有支架，用于支撑法兰） 

l 左端法兰上安装不锈钢截止阀（用于通入气体）和机械真空表 

l 右端法兰上安装不锈钢截止阀以及预留的KF25接头（用于连接真空泵）

真空度

l 10E-3Torr(采用机械泵) 

l 10E-5Torr(采用分子泵)

加热区

l 10个温区，每个温区长度为120mm 

l 总温区长度: 1570mm（含绝热层）

注意：可通过在温区之间添加绝热环来调节温度梯度

温控系统

l 控制柜与炉体分开，采用触摸屏来操作来控制十个温区，每个温区有独立的控制通道。 

l 每个控制通道可设置30段升降温程序 

l 设有超温和断偶保护 

l 控温精度为：+/- 1 ºC 

l 热电偶：采用K型铠装热电偶 

l 控制面板上安装有RS485接口，可连接电脑将数据导出

可选

l 客户可选购多通道质量流量计供气系统，用于和管式炉配合来做CVD实验

l 可选购压力控制系统，来确保炉管内气压恒定

产品尺寸

1980×1300×2500mm

产品重量

200kg

质保

一年质保期，终生维护（不含炉管、密封圈和加热元件等损耗件）

质量认证

所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA / CE认证若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证

使用注意事项

l 炉管内气压不可高于0.02MPa 

l 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 

l 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态 

l 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

 l 石英管的长时间使用温度≤1100℃ 

l 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）