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双温区开启式真空管式炉OTF-1200X-80-II-F3LV
 
   
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合肥科晶双温区开启式真空管式炉OTF-1200X-80-II-F3LV

功率:2.5 KW,电压:AC 208-240V单相, 50/60 Hz,加热元件:Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,最高工作温度:1200 ℃,连续工作温度:1100 ℃,最大升温速率:≤20 ℃ /min,炉管尺寸和材质:石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm

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双温区开启式真空管式炉OTF-1200X-80-II-F3LV合肥科晶产品简介:
OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.

双温区开启式真空管式炉OTF-1200X-80-II-F3LV合肥科晶产品技术参数:

壳体结构

  • 双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于 55 ℃
  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。

功率

        2.5 KW

电压

        AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热元件

        Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

最高工作温度

       1200 ℃

连续工作温度

       1100 ℃

最大升温速率

       ≤20 ℃ /min

炉管尺寸和材质

     石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热区长度

  • 两个加热区:  每个温区200 mm (8")  
  • 总加热区长度400 mm 

温度控制器

  • 两个精密的温度控制器,单独的控制两个温区
  • PID方式控制,通过PWM固体继电器
  • 30 可编程智能温度调节仪,可设置30段升降温程序
  • 带有过热和断偶保护
  • 控温仪表操作视频

控温精度

        +/- 1 ℃

真空密封系统

  • 两个不锈钢密封法兰,法兰上有KF-25接口和法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)阀门
  • 真空度:通过机械泵真空度可以达到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想获得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以达到10-5 torr.
  • ·泄漏率< 5 m-torr/min(点击图片查看详细资料)
     
     

真空泵

 

      采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。

防腐型真空计

      可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。
     

 

混气系统

 

 

 

  • 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 
  • 第一路气体流量范围为10-100 cc/min.  
  • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.  
  • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
  • 一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ,来监测混合气体的压力    

阀门

    四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处

尺寸

  • 炉子: 550 x 380 x 520 
  • 移动架: 600x600x597
开门断电

   为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
     
  

 

 净重

     约60KG 

运输重量

     600 lbs 

质保期

     一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件

质量认证

  • CE认证
  • 所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA认证
  • 若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证   
          

 

使用注意事项

  • ·炉管内气压不可高于0.02MPa
  • ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
  • ·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态
  • ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
  • ·石英管的长时间使用温度<1100
  • ·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)

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