合肥科晶近距离旋转蒸发镀膜炉（CSS）OTF-1200X-RTP-II-5-R

产品特点

• 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部，两温度控制器进行独立控温 

• 最大升温速率为10℃/s 

• 最高温度可达800℃ 

• 两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制 

• 顶部载样台可旋转，转速可调：1-7rpm

工作电压

• AC 220V, 50/60Hz （需要50A的空气开关）

真空法兰

• 真空法兰为316不锈钢制作 

• 顶部法兰（可通过控制盒进行上升和下降）： 

• 一机械压力表 

• 一KF16接口，可以安装防腐真空计 

• 两个不锈钢精密针阀用于气体的进出

• 底部法兰： 

• 一KF25接口，可以与真空泵相连接 

• 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封： 

• 真空度：20Pa（机械泵） 

• 真空度：10^-1Pa（分子泵） 

加热元件和载样台

• 由两组红外灯管作为加热元件，分别位于顶部和底部 

• 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节（触摸屏控制），调节范围为：2-50mm 

• 顶部载样台可旋转（触摸屏控制），转速：1-7rpm 

• 为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率，加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中，（不锈钢壳体采用316不锈钢制作） 

• 采用导热率较高的氮化铝陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作为载样台，以达到较好的加热均匀性 

注：可选购5"x5"的石墨坩埚放于底部载样台用来盛放蒸发原料，提高温度均匀性

温控系统

• 两个精密的温控系统分别独立控制上下两个加热区，可设置30段升降温程序 

• 每个温控系统都带有超温和断偶保护 

• PC通讯接口，软件可安装，可将控温程序和温度曲线导入到电脑中 

• 

       控温仪表操作视频

工作温度

• 最高工作温度为：800℃ 

• 两个加热区之间的最大温差为300℃

加热和冷却速率

• 建议加热速率≤ 10ºC/s（每个温区单独加热）
• 冷却速率> 10ºC/s (800 - 300ºC)

热电偶

• 两个K型热电偶，安装在顶部和底部，都与氮化铝陶瓷片相接触

可选

• 此款仪器使用时需要配用一循环水冷机（58L/min) 

• 实验时需要一个真空泵，可与本公司选购真空泵 

• 若要使真空腔体内达到更洁净的工作环境，可换购无油泵 

• 可选购质子流量计混气系统，将实验所需气体安比列混好后导入到真空腔体中

质保

• 一年质保期，终生维护（不包括密封圈、加热元件和石英管）

产品尺寸

790mm × 600mm × 1100mm

使用注意事项

• 炉管内气压不可高于0.02MPa 

• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全 

• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）