合肥科晶小型程序控温蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2

名称

小型程序控温蒸发镀膜仪GSL-1700X-SPC-2

视频

结构＆特点

·真空腔体为直径6英寸的石英腔体，便于清洁和放入样品
·安装有一个2英寸的样品台，并且样品台可以旋转，使所制薄膜更加均匀

·采用钨丝篮作为发热源，最高温度可达到1500℃，并且配用专用氧化铝舟，可装入样品
·精确控温：可设置30段升降温程序，控温精度为+/-1℃ 

·气体流量端口和阀门内置用于腔室净化和CVD可能性 

基本参数

温度：最高1500℃ （1200℃以上＜1h）   建议升温速率：≤20℃/ min （需根据工艺调整）    

热偶：B型或者S型热偶     电源：AC220V，50Hz   最大6KW

温控及加热源

·采用钨丝篮作为发热源，并且配有专用的氧化铝坩埚，热电偶安装在坩埚底部，以便于温度测量和控制（如图1）

·采用S型热电偶（工作温度为200℃-1500℃） 

·可选B型热电偶（工作温度为1200℃-1700℃） 

·安装有一个数显的温度控制器：可设置30段升降温程序，控温精度为+/- 1ºC（如图2） 

·温度控制器的时间设置以秒为单位，建议将升温/降温速率限制在1200ºC以下0.3ºC/s（20ºC/ min），在1200 - 1500ºC限制到0.15ºC/s（10ºC/min） 

·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚（如图4图5）

图1	图2	图3	图4	图5

样品台

·仪器顶部安装有样品台，直径为Φ50mm，并设置有挡板，方便控制蒸发镀膜时间 

·样品台可旋转，增加镀膜均匀性 

·样品台和蒸发源之间的距离可以调节，调节范围为：40mm-85mm

进气口

·进气接口为1/4NPS，可向真空腔体中通入惰性气体，对腔体进行清洗，也可通入反应气体，进行反应蒸发镀膜 

·进气口安装有一针阀，用于调节进气流量

可选

·程序控温型四坩埚蒸发镀膜仪-GSL-1700X-EV4（图一） 

·仪器中配有钨丝篮及氧化铝坩埚，并用户可额外选购钨丝篮及氧化铝坩埚（图二图三）

图一	图二	图三

真空计（可选）

可选购一数显防腐真空计，测量范围为：3.8x10-5-1125Torr

膜厚检测仪（可选）

·可在本公司选购精密的石英振动薄膜测厚仪安装在溅射仪上，可实时监测薄膜的厚度，分辨率为0.10 Å  （图一） 

·LED显示屏显示，同时也输入所制作薄膜的相关数据（图二） 

·同时可选购反射光谱薄膜测厚仪--TFMS-LD（图三）

图一	图二	图三

真空系统（选配）

·设备上有一KF25接口用于连接真空泵 

·采用涡旋分子泵真空可达1.0E-5Torr，极限真空度可达4.0E-6Torr 

·双极旋片真空泵或干泵，可使仪器真空腔体的真空度达到10-2Torr 

·真空度达到10-2torr时，可蒸发一些贵金属，参考材料金和铂，也可蒸发一些有机材料，可选购数显防腐真空计PCG-554(测量范围3.8x10-5 to 1125 Torr.) 

·高真空度可达1.0E-5Torr（采用涡旋分子泵），此时可蒸发对氧敏感的材料，参考材料Al. Mg, Li，分子泵上带有复合真空计（最高可测量真空度为1.0E-7Torr） 

·可在本公司选购各种真空泵和真空计

·可选购一个冷真空阱，以避免真空泵造成污染

外形尺寸

490mm*330mm*560mm

质量认证

·所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

质保期

一年保修，终身技术支持。
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 

使用提示

·为了获得高真空度，可采用以下做法 

（1）使用前要检查密封圈和法兰上是否有异物或划痕，并用酒精擦洗 

（2）抽真空时，用外部加热装置将腔体烘烤到200℃，氧化铝坩埚预加热到500℃，保持2小时

·此款蒸镀仪可以放入到手套箱里操作，用于蒸镀一些在常温下对氧气敏感的材料，比如金属Li等，可在本公司选购开启式手套箱VGB-6（点击下图查看详情）

使用注意事项

·使用温度高于1300℃时，保温时间不可大于1小时，否则会损坏密封圈 

·当腔体的各阀门关闭时，请勿开启升温程序或手动调节电流进行加热 

·当仪器正在蒸发材料时，不可打开泄气阀或关闭真空泵，只有当加热温度降至100℃时，才可放气或关闭真空泵 

·蒸镀电流不宜大于40A 

·如误将控温仪表设为手动状态，程序将不能正常运行 

·此设备仪表程序为秒，200℃之前升温速度不宜大于0.5℃/S 

如果用户选购了STC-2型薄膜测厚仪，在选用取样片时请按：镀纯金属时用金取样片，镀合金时用银取样片

·钨丝篮必须在真空状态下（＜5Pa才能通电加热，否则会被氧化）