2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪VTC-2DC合肥科晶产品简介:
VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。
2英寸500W直流等离子磁控溅射镀膜仪VTC-2DC合肥科晶产品技术参数:
设备名称 |
500W直流等离子磁控溅射镀膜仪-VTC-2DC |
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主要参数 |
输入电源:220V AC 50Hz 输出电压:600 VDC 输出功率:最大500W 整机功率:1000W(包括真空泵)
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溅射腔体 |
l采用石英腔体,尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 250 mm H(配置直靶头) 尺寸:166 mm OD x 150 mm ID x 290 mm H(配置带角度倾斜靶头) l密封法兰:直径为165 mm,采用金属制作,密封采用O形密封圈
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溅射头&样品台
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l溅射头安装靶材直径为2英寸,同时可选配1英寸溅射头
l仪器中安装有直径为50mm的不锈钢样品台,其与溅射头之间距离40-80mm可调 l样品台可加热,加热温度RT-500℃(RT为室温) l安装有一可手动操作的挡板 l最大可制膜的直径为:2英寸(标配2英寸,如果需要更大尺寸请与我们销售联系)
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真空系统 |
l安装有KF25真空接口 l数字真空压力表(Pa) l此系统运行需要Ar气,并且气瓶上安装有减压阀(设备中不包含) l采用机械泵< 3.8E-2 Torr(参考值) l采用涡旋分子泵< 3.8E-5 Torr(参考值) l可在本公司选购各种真空泵
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进气 |
l设备上配1/4英寸进气口方便连接气瓶 l设备前面板上装有一气流调节旋钮,方便调节气流
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靶材 |
l靶材尺寸要求:Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度) l可在本公司选购各种靶材
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薄膜测厚仪(可选) |
可在本公司选购薄膜测厚仪安装在溅射仪上
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产品外型尺寸
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540 mm L x 540 mm W x 1100 mm H
净重:70 kg(不包括泵) |
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质量认证 |
CE认证 |
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质保 |
一年保修,终身技术支持。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
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使用提示
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l有时为了达到理想的薄膜厚度,可能需要多次溅射镀膜 l为了得到较好的薄膜质量,必须通入高纯气体(建议> 5N) l在溅射镀膜前,确保溅射头、靶材、基片和样品台的洁净 l要达到薄膜与基底良好结合,请在溅射前清洁基材表面 l超声波清洗(详细参数点击下面图片):(1)丙酮超声(2)异丙醇超声-去除油脂(3)吹氮气干燥(4)真空烘箱除去水分。 l等离子清洗:可表面粗糙化,可激活表面化学键,可祛除额外的污染物。 l制造一个薄的缓冲层(5纳米左右):如Gr,Ti,Mo,Ta,可以应用于改善金属和合金的附着力。
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警告 |
l注意:产品内部安装有高压元件,禁止私自拆装,带电移动机体。 l气瓶上应安装减压阀(设备标配不包括),保证气体的输出压力限制在0.02兆帕 以下,以安全使用。 l溅射头连接到高电压。为了安全,操作者必须在关闭设备前装样和更换靶
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