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等离子清洗机PDC-36G
 
   
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合肥科晶等离子清洗机PDC-36G

低功率设定:直流680V,10mA,6.8W,中功率设定:直流700V,15mA,10.5W,高功率设定:直流720V,25mA,18W ,射频源输出频率:13.56MHz ,等离子直流电源,输入电压:220V,50Hz

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3英寸迷你型等离子清洗机PDC-36G合肥科晶产品简介:
PDC-36G 等离子清洗机是一种紧凑型、低成本的等离子清洗机。使用空气、氧气、氩气等离子去除纳米级有机物污染。在射频电源的作用下,去除速率最大每分钟10纳米。在单晶材料外延薄膜生长以前进行预处理,对生长具有显著的作用 。

3英寸迷你型等离子清洗机PDC-36G合肥科晶产品技术参数:

名称

3"等离子清洗机--PDC-36G

 

 

视频

                 操作视频

 

  

 

主要特点

 

 

·结构紧凑、小型化的桌上型仪器 

·用各种气体清洗和去除晶片上纳米级有机污染物 

·在制膜实验之前预先清洁镀膜基底的优秀工具。清洗后镀质量可以更好 

·铰链式门,方便装样 

·石英腔的直径是3英寸,在里面可以放入一个石英舟,最大清洗一个2英寸的基片 

·清洗腔里面的石英管可以拆卸,方便清洗和更换 

·使用可调射频电源可以设置功率为低、中、高级别;低成本、操作安全

 

 

  

 

主要参数

 

·低功率设定:直流680V,10mA,6.8W 

·中功率设定:直流700V,15mA,10.5W 

·高功率设定:直流720V,25mA,18W 

·射频源输出频率:13.56MHz 

·等离子直流电源 

·输入电压:220V,50Hz

 

 

 

等离子腔室

 

·直径75mmx长200mm的石英墙体,前盖可以开启 

·高纯度石英腔体,使用寿命比玻璃长

 

真空计

设备标配一个数显电阻真空机用于实时监测清洗仓内的真空度。

 

  

 

可选配件

 

·可以订购额外的石英腔体,用于备用 

·如果需要一个通入两种气体的工艺解决方案,PDC-36G等离子清洗机可以2路混气系统组合) 

·可以订购石英晶片载体来清洁2英寸晶片

  

    

 

  

 真空泵和阀

 

·此设备不包含真空泵

  

  

工作气体

 

·多种气体可以用于等离子清洗,例如氮气、氩气、空气、混合气体,主要取决于处理何种材料。

 ·可以使用<4%的H2混合惰性气体 

·警示:不能使用可燃性及腐蚀性气体

 

 

 

 

  

等离子清洗刻蚀的方法

 

外形尺寸

353mmLx380mmWx225mm H

净重

8kg(不含泵)

认证

CE认证

  

 质保期

 

一年保修,终身技术支持。 

特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

 

工作原理

等离子清洗机工作原理

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