晶体生长炉SKJ-50CZ合肥科晶产品简介:
SKJ-50CZ是一款高质量的CZ晶体生长炉,可针对于材料的实验探索,也可以适用于晶体材料的生产。此款晶体生长炉已经被证实可以提拉各种氧化物单晶和金属单晶,如蓝宝石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,最高温度可达2100℃,最大可长出晶体尺寸为3英寸。
晶体生长炉SKJ-50CZ合肥科晶产品技术参数:
感应射频功率为25KW,射频0.2 - 20 KHz
提拉速度 :0.1- 20 mm/h,仔晶杆旋转速度0 ~~ 40 RPM
最大提拉行程:50CM
最大可熔融温度为:2100℃
输入电源:三相,380V,25KW
真空腔体尺寸为 :50 cm dia. X 70 cm h,其真空度可以达到10-3 torr(用机械泵)10-5 tor(用扩散泵)
冷却水需求:
所需水压 0.13~~0.18MPa
所需水流量60 L/minute
冷却水会同多炉腔体夹层和仔晶杆
产品尺寸:
炉体: L880x W1250x H2640mm
控制柜:L680x W540x H1700mm
中频柜: L965xW 812xH 1219mm
产品净重 1.5 T
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